麥克風及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110767002.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113347541A 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN113347541A 申請公布日 2021-09-03
分類號 H04R19/04（2006.01）I;H04R7/06（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I 分類 電通信技術;
發(fā)明人 王琳琳;鐘曉輝;屠蘭蘭 申請（專利權）人 瑞聲聲學科技（深圳）有限公司
代理機構 深圳紫辰知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 萬鵬
地址 518057廣東省深圳市南山區(qū)高新區(qū)南區(qū)粵興三道6號南京大學深圳產(chǎn)學研大樓A座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種麥克風及其制造方法。所述麥克風包括具有空腔的基底、設置在所述基底上方的振膜、與所述振膜間隔設置的背板、位于所述背板靠近所述振膜一側(cè)的背板電極以及位于所述背板遠離所述振膜一側(cè)的引出電極，所述振膜上設有多層氧化硅層，所述引出電極在所述振膜上的投影至少部分與所述多層氧化硅層重疊。本發(fā)明提供的麥克風可減少寄生電容。