一種大尺寸基板蒸鍍裝置及利用該蒸鍍裝置制備CdTe太陽(yáng)能鍍膜的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811446184.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109402573B | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109402573B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-03-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 宋寰欣;黃信二 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 研創(chuàng)應(yīng)用材料（贛州）股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南昌金軒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 文珊 |
| 地址 | 341000江西省贛州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)香港工業(yè)園北區(qū)標(biāo)準(zhǔn)廠房6棟 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提出一種大尺寸基板蒸鍍裝置以及利用該蒸鍍裝置制備CdTe太陽(yáng)能鍍膜的方法，該蒸鍍裝置包括蒸鍍箱體，所述蒸鍍箱體內(nèi)固定有熱屏蔽裝置，所述蒸鍍箱體的內(nèi)頂壁上固定有鍍膜基板，所述熱屏蔽裝置內(nèi)固定有夾層盒本體和上坩堝，所述熱屏蔽裝置的四周開(kāi)設(shè)有循環(huán)的一號(hào)蒸汽流道，所述夾層盒本體內(nèi)開(kāi)設(shè)有二號(hào)蒸汽流道，所述夾層盒本體的底壁上固定有加熱器，所述上坩堝的下方固定有加熱器，所述蒸鍍箱體的正下方設(shè)置有下坩堝，所述下坩堝的正下方固定有加熱器，本蒸鍍裝置可以應(yīng)用于CdTe太陽(yáng)能鍍膜、以及其他各式二元或多元化合物材料膜層的鍍膜制備中，不僅可以精準(zhǔn)控制鍍膜的成份組成，而且可以提高鍍膜的均勻性。?? |
