一種新型CIGS電極用鈦合金復(fù)合靶材鍍膜及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811488519.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109536899A 公開(kāi)（公告）日 2019-03-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN109536899A 申請(qǐng)公布日 2019-03-29
分類(lèi)號(hào) C23C14/34（2006.01）I; B22F3/14（2006.01）I; C22C14/00（2006.01）I; C23C14/18（2006.01）I; C23C14/16（2006.01）I; C23C14/06（2006.01）I; C23C14/08（2006.01）I; H01L31/0224（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王家和; 黃信二 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 研創(chuàng)應(yīng)用材料（贛州）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌贛專(zhuān)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 文珊
地址 341000 江西省贛州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)香港工業(yè)園北區(qū)標(biāo)準(zhǔn)廠房6棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種新型CIGS電極用鈦合金復(fù)合靶材鍍膜及其制備方法，制備該鍍膜的鈦合金復(fù)合靶材包括鈦鈉復(fù)合靶材和鈦鉀復(fù)合靶材中的至少一種，所述鈦鈉復(fù)合靶材和鈦鉀復(fù)合靶材分別為鈦粉末與鈦鈉氧化物粉末、鈦粉末與鈦鉀氧化物粉末通過(guò)熱壓成型工藝制成。在制得鈦鈉復(fù)合靶材和鈦鉀復(fù)合靶材基礎(chǔ)上，分別以鈦鈉復(fù)合靶材和鈦鉀復(fù)合靶材為材料，或者同時(shí)以鈦鈉復(fù)合靶材和鈦鉀復(fù)合靶材為材料通過(guò)真空濺鍍的方式制得復(fù)合靶材鍍膜，本發(fā)明的鈦合金靶材制程溫度相對(duì)較低，且材料化性及物性較穩(wěn)定，原料相對(duì)便宜，既降低了靶材生產(chǎn)成本，又提高了靶材的產(chǎn)率，應(yīng)用于CIGS薄膜太陽(yáng)能電池組件中可以顯著提高CIGS薄膜太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。