一種CIGS下電極用鋁合金復(fù)合靶材及CIGS薄膜太陽能電池的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810935213.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110835724A 公開（公告）日 2020-02-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN110835724A 申請(qǐng)公布日 2020-02-25
分類號(hào) C23C14/06;C23C14/08;C23C14/34;H01L31/0224;H01L31/18 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王家和;黃信二 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 研創(chuàng)應(yīng)用材料（贛州）股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 341000 江西省贛州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)香港工業(yè)園北區(qū)標(biāo)準(zhǔn)廠房6棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種CIGS下電極用鋁合金復(fù)合靶材及CIGS薄膜太陽能電池的制備方法，采用低成本的熱壓方式來制造此靶材，設(shè)備成本較低，由于材料溫度較低且延展性較佳,同一批次可以多片同時(shí)熱壓，提高靶材的產(chǎn)率。本發(fā)明的鋁合金復(fù)合靶材應(yīng)用于CIGS電池的下電極膜層鍍膜，由于原料成本較低且度率高，因此能降低濺鍍膜層成本。隨著靶材中鈉鉀含量的提高，在后制程中能提供較多的Na/K元素?cái)U(kuò)散至CIGS吸收層，提高載流子濃度及能填補(bǔ)缺陷提高組件開路電壓，有利于轉(zhuǎn)換效率的提高。在相同的效率要求下，也可以降低膜層的厚度，有利于提高設(shè)備的產(chǎn)率，降低設(shè)備成本并滿足了大規(guī)模量產(chǎn)的要求。