一種使用離子液體調(diào)控金屬薄膜磁性的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911072269.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110983268A 公開(kāi)（公告）日 2020-04-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN110983268A 申請(qǐng)公布日 2020-04-10
分類(lèi)號(hào) C23C14/35;C23C14/18;H01F41/16 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張曉慧;周子堯;胡忠強(qiáng);李春雷 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 西安科匯電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 代理人 姚詠華
地址 710075 陜西省西安市高新區(qū)高新二路12號(hào)協(xié)同大廈后樓5層1505
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種使用離子液體調(diào)控金屬薄膜磁性的方法，包括：1)將選定基底進(jìn)行預(yù)處理后，在其上采用直流磁控濺射法在真空度條件下，以不同功率依次沉積適宜被咪唑類(lèi)離子液體調(diào)控的金屬薄膜；2)，通過(guò)對(duì)浸潤(rùn)金屬薄膜的咪唑類(lèi)離子液體施加步長(zhǎng)相同的循環(huán)電壓，確認(rèn)未發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的電壓范圍；3)在氮?dú)獗Ｗo(hù)條件下，通過(guò)改變離子液體兩端電壓調(diào)控金屬薄膜磁性。發(fā)明降低了調(diào)控電壓與電流，節(jié)約能源，減輕了設(shè)備腐蝕且易于操作，同時(shí)調(diào)控量大，對(duì)環(huán)境無(wú)污染。