一種采用ALD在絲素納米纖維表面制備氧化鋅納米管的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811251481.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109536925A 公開（公告）日 2019-03-29
申請公布號 CN109536925A 申請公布日 2019-03-29
分類號 C23C16/455（2006.01）I; C23C16/40（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉明; 張樂; 張曉慧; 周子堯; 關蒙萌 申請（專利權）人 西安科匯電子科技有限公司
代理機構 西安通大專利代理有限責任公司 代理人 姚詠華
地址 710075 陜西省西安市高新區(qū)高新二路12號協同大廈后樓5層1505
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種采用ALD在絲素納米纖維表面制備氧化鋅納米管的方法，該方法采用原子層沉積法，以二乙基鋅為鋅源，以蒸餾水為氧源，在柔性絲素納米纖維表面沉積氧化鋅納米管，通過將二乙基鋅與蒸餾水交替通入原子層沉積系統的反應腔內，實現了氧化鋅在柔性納米纖維上的沉積。本方法制得的氧化鋅/柔性納米纖維襯底具有成本低，薄膜成分和厚度精確可控，三維均勻保型性好等優(yōu)點，同時提高了氧化鋅的光催化性能。