一種基于AMR效應(yīng)的傳感器結(jié)構(gòu)及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811259314.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109599484A 公開(kāi)（公告）日 2019-04-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN109599484A 申請(qǐng)公布日 2019-04-09
分類號(hào) H01L43/02（2006.01）I; H01L43/12（2006.01）I; G01R33/09（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周子堯; 蘇瑋; 張曉慧; 劉明; 胡忠強(qiáng); 關(guān)蒙萌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安科匯電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 姚詠華
地址 710075 陜西省西安市高新區(qū)高新二路12號(hào)協(xié)同大廈后樓5層1505
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種AMR傳感器結(jié)構(gòu)及其制作方法，包括基底，沉積在基底上的若干平行的磁阻條，連接磁阻條的惠斯通電橋結(jié)構(gòu)，以及均勻覆蓋于磁阻條上的若干巴貝電極；基底設(shè)在兩對(duì)相對(duì)設(shè)置的一級(jí)電極之間，在襯底兩側(cè)對(duì)稱分布有二級(jí)電極，磁阻條設(shè)在二級(jí)電極之間，巴貝電極平行傾斜分布在二級(jí)電極與磁阻條之間；在二級(jí)電極兩端部設(shè)有功能層。該傳感器可以獲得更大的變化率，同時(shí)可以有效提高傳感器的靈敏度，有效的提高了器件的工作效率和應(yīng)用范圍。