一種罐體吹掃及檢測(cè)系統(tǒng)及其工作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010558673.4 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN111734957A 公開(公告)日 2020-10-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN111734957A 申請(qǐng)公布日 2020-10-02
分類號(hào) F17D1/04(2006.01)I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 柳光植;沈琦 申請(qǐng)(專利權(quán))人 江蘇先科半導(dǎo)體新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 代理人 張超
地址 214203江蘇省無錫市宜興經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)荊溪北路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種罐體吹掃及檢測(cè)系統(tǒng),包括氣體輸送主干路,氣體輸送主干路上有過濾系統(tǒng),沿氣體輸送方向的過濾系統(tǒng)的后方設(shè)有單向閥,單向閥的后方設(shè)有多個(gè)與氣體輸送主干路連接的吹掃及檢測(cè)系統(tǒng),每?jī)商状祾呒皺z測(cè)系統(tǒng)共用同一套顆粒計(jì)數(shù)器及水分儀,每套吹掃及檢測(cè)系統(tǒng)包括自氣體輸送主干路延伸出的第一支路,第一支路的出口分為第二支路和第三支路,第二支路和第三支路的出口匯聚在第四支路的進(jìn)口,第四支路通過顆粒過濾器和電磁閥再和罐體的進(jìn)口連接,罐體的出口連接顆粒計(jì)數(shù)器及水分儀。本發(fā)明還公開了此種系統(tǒng)的工作方法。采用本發(fā)明的設(shè)計(jì)方案,能夠?qū)τ糜趦?chǔ)備危險(xiǎn)化學(xué)品的罐體進(jìn)行吹掃和檢測(cè)。??