一種采用雙支路設(shè)計(jì)的罐體吹掃及檢測(cè)系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021136198.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212657589U | 公開（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212657589U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-05 |
| 分類號(hào) | F17D1/04(2006.01)I;G01N15/06(2006.01)I;G01N33/00(2006.01)I;B08B9/093(2006.01)I;F17D3/14(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I | 分類 | 氣體或液體的貯存或分配; |
| 發(fā)明人 | 柳光植;沈琦 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇先科半導(dǎo)體新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張超 |
| 地址 | 214203江蘇省無錫市宜興經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)荊溪北路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種采用雙支路設(shè)計(jì)的罐體吹掃及檢測(cè)系統(tǒng)，包括氣體輸送主干路，氣體輸送主干路上有過濾系統(tǒng)，沿氣體輸送方向的過濾系統(tǒng)的后方設(shè)有單向閥，單向閥的后方設(shè)有多個(gè)與氣體輸送主干路連接的吹掃及檢測(cè)系統(tǒng)，每兩套吹掃及檢測(cè)系統(tǒng)共用同一套顆粒計(jì)數(shù)器及水分儀，每套吹掃及檢測(cè)系統(tǒng)包括自氣體輸送主干路延伸出的第一支路，第一支路的出口分為第二支路和第三支路，第二支路和第三支路的出口匯聚在第四支路的進(jìn)口，第四支路通過顆粒過濾器和電磁閥再和罐體的進(jìn)口連接，罐體的出口連接顆粒計(jì)數(shù)器及水分儀。采用本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)方案，能夠采用兩條支路在電磁閥的配合下分別對(duì)罐體進(jìn)行不同方式的吹掃，提高罐體的清潔程度。?? |
