一種能夠進(jìn)行系統(tǒng)自檢的吹掃及檢測(cè)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021135289.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN212617641U 公開(kāi)(公告)日 2021-02-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN212617641U 申請(qǐng)公布日 2021-02-26
分類號(hào) F17D3/01(2006.01)I;F17D1/04(2006.01)I;B08B9/093(2006.01)I;G01N15/06(2006.01)I;G01N33/00(2006.01)I;F17D3/14(2006.01)I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 柳光植;沈琦 申請(qǐng)(專利權(quán))人 江蘇先科半導(dǎo)體新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 代理人 張超
地址 214203江蘇省無(wú)錫市宜興經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)荊溪北路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種能夠進(jìn)行系統(tǒng)自檢的吹掃及檢測(cè)系統(tǒng),包括氣體輸送主干路,氣體輸送主干路上有過(guò)濾系統(tǒng),沿氣體輸送方向的過(guò)濾系統(tǒng)的后方設(shè)有單向閥,單向閥的后方設(shè)有多個(gè)與氣體輸送主干路連接的吹掃及檢測(cè)系統(tǒng),每?jī)商状祾呒皺z測(cè)系統(tǒng)共用同一套顆粒計(jì)數(shù)器及水分儀,每套吹掃及檢測(cè)系統(tǒng)包括自氣體輸送主干路延伸出的第一支路,第一支路上沿氣體的輸送方向依次設(shè)置用于調(diào)壓的壓力調(diào)控閥、流量計(jì)、第二截止閥、第三截止閥、顆粒過(guò)濾器和電磁閥,第一支路末端和罐體的進(jìn)口連接,罐體的出口連接顆粒計(jì)數(shù)器及水分儀。本發(fā)明還公開(kāi)了此種系統(tǒng)的工作方法。采用本發(fā)明的設(shè)計(jì)方案,能夠?qū)τ糜趦?chǔ)備危險(xiǎn)化學(xué)品的罐體進(jìn)行吹掃和檢測(cè)。??