提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)及其提取方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111484310.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN114167145A 公開(kāi)(公告)日 2022-03-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN114167145A 申請(qǐng)公布日 2022-03-11
分類(lèi)號(hào) G01R27/26(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 隋磊;盧煜旻;朱欣恩 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 上海矽杰微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 嘉興啟帆專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 程開(kāi)生
地址 201800上海市嘉定區(qū)葉城路1288號(hào)6幢J461室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)及其提取方法,提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)的提取方法,通過(guò)提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)來(lái)提取介質(zhì)材料的絕對(duì)介電常數(shù)和損耗角正切,包括步驟S1:在頂層設(shè)有U型槽結(jié)構(gòu),以使得能量通過(guò)U型槽結(jié)構(gòu)輸入諧振器,從而在諧振器中產(chǎn)生諧振,以通過(guò)測(cè)量整個(gè)結(jié)構(gòu)的反射系數(shù)獲得諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)。本發(fā)明公開(kāi)的提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)及其提取方法,其通過(guò)諧振器來(lái)提取介質(zhì)材料的絕對(duì)介電常數(shù)以及損耗角正切。