提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)及其提取方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111484310.1 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN114167145A | 公開(kāi)(公告)日 | 2022-03-11 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN114167145A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-11 |
分類(lèi)號(hào) | G01R27/26(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量;測(cè)試; |
發(fā)明人 | 隋磊;盧煜旻;朱欣恩 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 上海矽杰微電子有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 嘉興啟帆專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 程開(kāi)生 |
地址 | 201800上海市嘉定區(qū)葉城路1288號(hào)6幢J461室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)及其提取方法,提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)的提取方法,通過(guò)提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)來(lái)提取介質(zhì)材料的絕對(duì)介電常數(shù)和損耗角正切,包括步驟S1:在頂層設(shè)有U型槽結(jié)構(gòu),以使得能量通過(guò)U型槽結(jié)構(gòu)輸入諧振器,從而在諧振器中產(chǎn)生諧振,以通過(guò)測(cè)量整個(gè)結(jié)構(gòu)的反射系數(shù)獲得諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)。本發(fā)明公開(kāi)的提取介質(zhì)材料的特性結(jié)構(gòu)及其提取方法,其通過(guò)諧振器來(lái)提取介質(zhì)材料的絕對(duì)介電常數(shù)以及損耗角正切。 |
