碳化硅晶棒多線切割方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910114125.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109760223B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109760223B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-31 |
| 分類號(hào) | B28D5/04;B28D7/00 | 分類 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 發(fā)明人 | 卓廷厚;羅求發(fā);黃雪潤(rùn) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廈門芯光潤(rùn)澤科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廈門仕誠(chéng)聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳圳添 |
| 地址 | 361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)火炬園火炬路56-58號(hào)火炬廣場(chǎng)南樓203-76 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種碳化硅晶棒的多線切割方法，包括：對(duì)碳化硅晶棒的端面進(jìn)行應(yīng)力狀態(tài)檢測(cè)，選出具有壓應(yīng)力的壓應(yīng)力型端面；在所述壓應(yīng)力型端面粘貼碟形陪片；對(duì)粘貼有所述碟形陪片的所述碳化硅晶棒進(jìn)行多線切割，粘貼有所述碟形陪片的晶片成為端面晶片；分離所述碟形陪片和所述端面晶片。所述碳化硅晶棒的多線切割方法提高碳化硅晶棒的端面晶片質(zhì)量和良品率，降低碳化硅晶片的加工成本。 |
