碳化硅晶棒多線切割方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910115376.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109866347B 公開（公告）日 2021-08-31
申請公布號 CN109866347B 申請公布日 2021-08-31
分類號 B28D5/00;B28D5/04 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 卓廷厚;羅求發(fā);黃雪潤 申請（專利權）人 廈門芯光潤澤科技有限公司
代理機構 廈門仕誠聯合知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 吳圳添
地址 361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)火炬園火炬路56-58號火炬廣場南樓203-76
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種碳化硅晶棒的多線切割方法，包括：對碳化硅晶棒的端面進行應力狀態(tài)檢測，選出具有拉應力的拉應力型端面；在所述拉應力型端面粘貼環(huán)形陪片；對粘貼有所述環(huán)形陪片的所述碳化硅晶棒進行多線切割，粘貼有所述環(huán)形陪片的晶片成為端面晶片；分離所述環(huán)形陪片和所述端面晶片。所述碳化硅晶棒的多線切割方法提高碳化硅晶棒的端面晶片質量和良品率，降低碳化硅晶片的加工成本。