碳化硅晶棒多線(xiàn)切割方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910115376.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109866347B 公開(kāi)（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN109866347B 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類(lèi)號(hào) B28D5/00;B28D5/04 分類(lèi) 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 卓廷厚;羅求發(fā);黃雪潤(rùn) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廈門(mén)芯光潤(rùn)澤科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)仕誠(chéng)聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳圳添
地址 361000 福建省廈門(mén)市火炬高新區(qū)火炬園火炬路56-58號(hào)火炬廣場(chǎng)南樓203-76
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種碳化硅晶棒的多線(xiàn)切割方法，包括：對(duì)碳化硅晶棒的端面進(jìn)行應(yīng)力狀態(tài)檢測(cè)，選出具有拉應(yīng)力的拉應(yīng)力型端面；在所述拉應(yīng)力型端面粘貼環(huán)形陪片；對(duì)粘貼有所述環(huán)形陪片的所述碳化硅晶棒進(jìn)行多線(xiàn)切割，粘貼有所述環(huán)形陪片的晶片成為端面晶片；分離所述環(huán)形陪片和所述端面晶片。所述碳化硅晶棒的多線(xiàn)切割方法提高碳化硅晶棒的端面晶片質(zhì)量和良品率，降低碳化硅晶片的加工成本。