一種螺紋臥式組裝硅舟

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022008761.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214244673U 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN214244673U 申請公布日 2021-09-21
分類號 C30B33/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 范明明;韓穎超;李長蘇 申請（專利權(quán)）人 杭州盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 代理人 鄭汝珍
地址 310051浙江省杭州市濱江區(qū)濱康路668號C幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型，一種螺紋臥式組裝硅舟，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，包括：擋板，溝棒，溝棒包括第一連接端、承接段和第二連接端，擋板上設(shè)有沿其厚度方向貫通的導(dǎo)向孔，溝棒與擋板通過緊固件可拆卸連接，硅舟為可拆裝的模塊化結(jié)構(gòu)，拆裝便捷且轉(zhuǎn)運方便，對空間的占用較小，且裝載的硅片數(shù)量較多，解決了現(xiàn)有技術(shù)中硅舟穩(wěn)定性較差，裝載硅片數(shù)量較少，以及拆卸組裝難度較大的技術(shù)問題。