一種硅環(huán)噴砂裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010962282.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112192450B | 公開（公告）日 | 2021-11-09 |
| 申請公布號 | CN112192450B | 申請公布日 | 2021-11-09 |
| 分類號 | B24C3/00（2006.01）I;B24C5/04（2006.01）I;B24C7/00（2006.01）I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 范明明;韓穎超;李長蘇 | 申請（專利權(quán)）人 | 杭州盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 鄭汝珍;汪利勝 |
| 地址 | 310051浙江省杭州市濱江區(qū)濱康路668號C幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種硅環(huán)噴砂裝置，旨在解決硅環(huán)表面破碎層去除不便，勞動強度大，工作效率低的不足。該發(fā)明包括噴砂箱、注砂壓力罐、負壓回砂罐，噴砂箱內(nèi)安裝噴砂組件、用于裝載硅環(huán)的旋轉(zhuǎn)臺，噴砂組件包括送砂管、噴砂嘴，噴砂嘴朝向旋轉(zhuǎn)臺設(shè)置，送砂管連接到注砂壓力罐，負壓回砂罐和噴砂箱之間連接回砂管。這種硅環(huán)噴砂裝置能有效去除加工中心加工后硅環(huán)表面的損傷和刀痕，得到穩(wěn)定的表面粗糙度，以達到化學(xué)刻蝕的要求，降低了勞動強度，提高了工作效率。 |
