一種硅環(huán)噴砂裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010962282.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112192450B 公開（公告）日 2021-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN112192450B 申請(qǐng)公布日 2021-11-09
分類號(hào) B24C3/00（2006.01）I;B24C5/04（2006.01）I;B24C7/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 范明明;韓穎超;李長(zhǎng)蘇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州杭誠(chéng)專利事務(wù)所有限公司 代理人 鄭汝珍;汪利勝
地址 310051浙江省杭州市濱江區(qū)濱康路668號(hào)C幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅環(huán)噴砂裝置，旨在解決硅環(huán)表面破碎層去除不便，勞動(dòng)強(qiáng)度大，工作效率低的不足。該發(fā)明包括噴砂箱、注砂壓力罐、負(fù)壓回砂罐，噴砂箱內(nèi)安裝噴砂組件、用于裝載硅環(huán)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)，噴砂組件包括送砂管、噴砂嘴，噴砂嘴朝向旋轉(zhuǎn)臺(tái)設(shè)置，送砂管連接到注砂壓力罐，負(fù)壓回砂罐和噴砂箱之間連接回砂管。這種硅環(huán)噴砂裝置能有效去除加工中心加工后硅環(huán)表面的損傷和刀痕，得到穩(wěn)定的表面粗糙度，以達(dá)到化學(xué)刻蝕的要求，降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了工作效率。