一種多晶硅棒材料的高潔凈度退火方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110970253.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113417010B 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN113417010B 申請公布日 2021-11-09
分類號 C30B33/02（2006.01）I;C30B33/10（2006.01）I;C07C51/60（2006.01）I;C07C53/50（2006.01）I;C07C45/45（2006.01）I;C07C45/46（2006.01）I;C07C49/80（2006.01）I;C07C17/35（2006.01）I;C07C22/04（2006.01）I;C07C303/32（2006.01）I;C07C309/39（2006.01）I;C07C213/04（2006.01）I;C07C215/08（2006.01）I;C07C213/06（2006.01）I;C07C219/06（2006.01）I;C08H1/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 韓穎超;趙佑晨;余正飛;李長蘇 申請（專利權(quán)）人 杭州盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州信與義專利代理有限公司 代理人 馬育妙
地址 310053浙江省杭州市濱江區(qū)濱康路668號C幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多晶硅棒材料的高潔凈度退火方法，包括多晶硅棒脫脂清洗、多晶硅棒純水一次浸泡、多晶硅棒混酸刻蝕、多晶硅棒純水二次浸泡、多晶硅棒氮?dú)獯蹈?、退火爐清洗、多晶硅棒退火；該多晶硅棒材料表面油脂含量低，且材料體相金屬含量低，具有很好的機(jī)械加工效果，能夠滿足芯片制造工藝，并在多晶硅棒脫脂清洗過程中制備了一種脫脂粉，將明膠溶解加入中間體6，在1?羥基苯并三唑的作用下，中間體6上的羧基與明膠表面的氨基發(fā)生脫水縮合，與中間體4繼續(xù)反應(yīng)，再用氯乙酸鈉進(jìn)行處理，制得脫脂粉，該脫脂粉能夠?qū)⒆陨肀砻婊钚苑肿訚B透到油脂中，與多晶硅棒表面隔開，并將油脂乳化分散到水中，達(dá)到脫脂效果。