一種硅環(huán)外表面加工方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010962270.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112171517B 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN112171517B 申請公布日 2021-11-09
分類號 B24C1/08（2006.01）I;B24C3/02（2006.01）I;B24C9/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 范明明;韓穎超;李長蘇 申請（專利權(quán)）人 杭州盾源聚芯半導體科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 代理人 鄭汝珍;汪利勝
地址 310051浙江省杭州市濱江區(qū)濱康路668號C幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅環(huán)外表面加工方法，旨在解決硅環(huán)表面加工勞動強度大，工作效率低，拋光表面不均勻的不足。該發(fā)明包括以下步驟：a、硅環(huán)機加工后，將硅環(huán)固定在噴砂機的旋轉(zhuǎn)平臺上，噴砂機的噴槍對準需要處理的硅環(huán)外表面，啟動噴砂機使旋轉(zhuǎn)平臺帶動硅環(huán)轉(zhuǎn)動，噴槍噴出砂子撞擊到硅環(huán)外表面；b、硅環(huán)一面完成噴砂后停機，將硅環(huán)翻面固定在噴砂機的旋轉(zhuǎn)平臺上，噴砂機的噴槍對準需要處理的硅環(huán)外表面，啟動噴砂機使旋轉(zhuǎn)平臺帶動硅環(huán)轉(zhuǎn)動，噴槍噴出砂子撞擊到硅環(huán)外表面；通過調(diào)整旋轉(zhuǎn)平臺的轉(zhuǎn)速和噴槍壓力，來調(diào)節(jié)硅環(huán)外表面粗糙度變動區(qū)間；c、噴砂機停機，取下硅環(huán)進行清洗。