真空鍍膜設(shè)備用磁導(dǎo)向裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520038422.8 申請日 -
公開（公告）號 CN204550702U 公開（公告）日 2015-08-12
申請公布號 CN204550702U 申請公布日 2015-08-12
分類號 C23C14/50(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李東岳;張學(xué)星;王興立;王建軍;張彥清;袁志堯 申請（專利權(quán)）人 承德新新機(jī)械制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 張海英;胡彬
地址 067001 河北省承德市雙灤區(qū)雙塔山元寶山大街24號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種真空鍍膜設(shè)備用磁導(dǎo)向裝置，屬于機(jī)械制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，為解決現(xiàn)有磁導(dǎo)向裝置導(dǎo)向不穩(wěn)定等問題而設(shè)計。一種真空鍍膜設(shè)備用磁導(dǎo)向裝置包括設(shè)在真空鍍膜箱形成的真空腔體內(nèi)的內(nèi)磁導(dǎo)向組件、設(shè)在內(nèi)磁導(dǎo)向組件下部的基片架以及設(shè)在真空鍍膜箱外側(cè)的外磁導(dǎo)向組件，其中，內(nèi)磁導(dǎo)向組件包括內(nèi)磁鋼壓板和通過內(nèi)磁鋼壓板固定的內(nèi)磁鋼；基片架在朝磁導(dǎo)向組件的一端設(shè)有支撐磁鋼；內(nèi)磁鋼的N極與支撐磁鋼的S極相對或內(nèi)磁鋼的S極與支撐磁鋼的N極相對，內(nèi)磁導(dǎo)向組件通過異極相吸為所述基片架提供支撐和導(dǎo)向。該真空鍍膜設(shè)備用磁導(dǎo)向裝置支撐和導(dǎo)向穩(wěn)定、安裝方便、制造成本低。