一種直拉大尺寸無位錯鍺單晶新型縮頸工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011151951.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112342613A 公開（公告）日 2021-02-09
申請公布號 CN112342613A 申請公布日 2021-02-09
分類號 C30B15/22(2006.01)I;C30B29/08(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王宇;馮德伸;李燕;雷同光;王博 申請（專利權(quán)）人 中國有研科技集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉秀青
地址 100088北京市西城區(qū)新外大街2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種直拉大尺寸無位錯鍺單晶新型縮頸工藝，包括以下步驟：(1)通過常規(guī)縮頸工藝將細(xì)頸的尺寸控制在3?5mm，長度150?300mm；(2)將細(xì)頸放粗到Φ15±2mm，等徑拉制一段長度，直到細(xì)頸部位到達(dá)600℃以下的熱場區(qū)域，然后再放肩到單晶所需的直徑。本發(fā)明的工藝用于在小梯度熱場下，能夠在拉制大尺寸無位錯鍺單晶時，減少細(xì)頸因受單晶重力因素導(dǎo)致塑性形變而產(chǎn)生位錯，避免這些位錯延伸到單晶。??