一種直拉大尺寸無(wú)位錯(cuò)鍺單晶新型縮頸工藝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011151951.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112342613A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112342613A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B15/22(2006.01)I;C30B29/08(2006.01)I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 王宇;馮德伸;李燕;雷同光;王博 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 中國(guó)有研科技集團(tuán)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 劉秀青 |
| 地址 | 100088北京市西城區(qū)新外大街2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種直拉大尺寸無(wú)位錯(cuò)鍺單晶新型縮頸工藝，包括以下步驟：(1)通過(guò)常規(guī)縮頸工藝將細(xì)頸的尺寸控制在3?5mm，長(zhǎng)度150?300mm；(2)將細(xì)頸放粗到Φ15±2mm，等徑拉制一段長(zhǎng)度，直到細(xì)頸部位到達(dá)600℃以下的熱場(chǎng)區(qū)域，然后再放肩到單晶所需的直徑。本發(fā)明的工藝用于在小梯度熱場(chǎng)下，能夠在拉制大尺寸無(wú)位錯(cuò)鍺單晶時(shí)，減少細(xì)頸因受單晶重力因素導(dǎo)致塑性形變而產(chǎn)生位錯(cuò)，避免這些位錯(cuò)延伸到單晶。?? |
