一種固態(tài)裝配諧振器的聯(lián)接結(jié)構(gòu)及制作工藝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010427348.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111756346A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111756346A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-09 |
| 分類號(hào) | H03H3/02(2006.01)I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 李林萍;盛荊浩;江舟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 見(jiàn)聞錄（浙江）半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廈門(mén)福貝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 杭州見(jiàn)聞錄科技有限公司 |
| 地址 | 310019浙江省杭州市江干區(qū)九環(huán)路9號(hào)4號(hào)樓10樓1004室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種固態(tài)裝配諧振器的聯(lián)接結(jié)構(gòu)及制作工藝，該固態(tài)裝配諧振器包括由依次層疊的下電極層、壓電層和上電極層形成的諧振功能層，聯(lián)接結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在相鄰兩個(gè)固態(tài)裝配諧振器之間的聯(lián)接橋，并且聯(lián)接橋與壓電層之間形成空腔，空腔在壓電層上的投影區(qū)域至少覆蓋下電極層的一個(gè)邊緣。該固態(tài)裝配諧振器具有BAW的優(yōu)良特性，可以有效抑制器件互聯(lián)時(shí)產(chǎn)生的寄生所帶來(lái)的不良效果，也具有屏蔽外界與內(nèi)部電磁干擾、散熱的特性，使濾波器具有良好的諧振性能和電磁屏蔽性能。?? |
