一種體聲波諧振器的電極結(jié)構(gòu)及制作工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010476599.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111669141B 公開（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN111669141B 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類號(hào) H03H9/02（2006.01）I;H03H9/17（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李林萍;盛荊浩;江舟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 見聞錄（浙江）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門福貝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳遠(yuǎn)洋
地址 313000浙江省湖州市康山街道紅豐路1366號(hào)3幢1219-23
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種體聲波諧振器的電極結(jié)構(gòu)及制作工藝，包括依次層疊形成的底電極層、壓電層和頂電極層，在壓電層上形成有包覆頂電極層的至少一個(gè)側(cè)邊的聲波反射擋沿，聲波反射擋沿從頂電極層的側(cè)邊延伸到頂電極層的頂部邊緣形成質(zhì)量負(fù)載層，聲波反射擋沿的外側(cè)邊緣在壓電層上的投影區(qū)域完全位于底電極層的區(qū)域范圍內(nèi)。通過頂電極層邊緣的高低聲阻抗交替形成的聲波反射擋沿反射橫波，避免橫波從諧振器邊緣泄露而帶走能量，提升器件性能。優(yōu)選地，以簡(jiǎn)單的工藝在制作聲波反射擋沿的同時(shí)既能形成質(zhì)量負(fù)載層又能形成頂電極電性連接其它諧振器的連接部。