一種體聲波諧振器的空腔結(jié)構(gòu)及制作工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010595466.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111934639B 公開（公告）日 2021-10-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN111934639B 申請(qǐng)公布日 2021-10-29
分類號(hào) H03H9/02（2006.01）I;H03H9/15（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李林萍;盛荊浩;江舟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 見聞錄（浙江）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門福貝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳遠(yuǎn)洋
地址 313000浙江省湖州市康山街道紅豐路1366號(hào)3幢1219-23
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了提出了一種體聲波諧振器的空腔結(jié)構(gòu)及制作工藝，包括襯底、形成在襯底上的空腔，襯底上設(shè)置有支撐層以包圍形成空腔，在襯底上方與空腔同層形成有連通空腔的釋放通道，釋放通道平行于襯底在空腔周圍延伸，其中，交錯(cuò)的釋放通道可依諧振器的分布位置設(shè)計(jì)。無需做釋放孔簡(jiǎn)化了諧振器的制作工藝，避免了制作釋放孔時(shí)使電極層周圍的壓電層結(jié)構(gòu)遭受破壞而帶來的諧振器性能削弱。并且可以設(shè)計(jì)電極層周圍的釋放通道的形狀，調(diào)節(jié)電極層周圍的壓電層應(yīng)力可以達(dá)到改善諧振器性能的效果。因此既能在不破壞壓電層結(jié)構(gòu)的前提下完成空腔釋放，又能通過空腔結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)調(diào)節(jié)壓電層應(yīng)力。