叉指電極結(jié)構(gòu)及其制造方法和具有該結(jié)構(gòu)的聲表面波器件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010761971.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111934644B 公開(kāi)（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN111934644B 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類號(hào) H03H9/02;H03H9/145 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李林萍;盛荊浩;江舟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 見(jiàn)聞錄（浙江）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門福貝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳遠(yuǎn)洋
地址 313000 浙江省湖州市康山街道紅豐路1366號(hào)3幢1219-23
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開(kāi)了一種叉指電極結(jié)構(gòu)，叉指電極結(jié)構(gòu)被設(shè)置在襯底上，其中叉指電極結(jié)構(gòu)中的叉指電極的末端被離子注入以形成摻雜部。還公開(kāi)了一種聲表面波器件，其包括以上叉指電極結(jié)構(gòu)，聲表面波器件為濾波器或諧振器。另外，還公開(kāi)了一種用于制造叉指電極結(jié)構(gòu)的方法，包括制備具有壓電層的襯底；在襯底上制作叉指電極；以及對(duì)叉指電極進(jìn)行離子注入以在叉指電極的末端形成摻雜部。通過(guò)在叉指電極末端進(jìn)行離子注入形成摻雜部，在不變劑加權(quán)、不調(diào)整叉指電極厚度等前提下改善了電極末端的電場(chǎng)梯度變化，抑制寄生振蕩，最終提升聲表面波器件的性能。