一種體聲波諧振器的平坦壓電層結(jié)構(gòu)及制作工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010056383.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111162746B 公開（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN111162746B 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類號(hào) H03H3/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李林萍;盛荊浩;江舟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 見聞錄（浙江）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門福貝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳遠(yuǎn)洋
地址 313000浙江省湖州市康山街道紅豐路1366號(hào)3幢1219-23
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種體聲波諧振器的平坦壓電層結(jié)構(gòu)及制作工藝，通過在襯底上形成空腔；在空腔中填充犧牲材料；在被填充后的空腔上制作底電極層；在底電極層周圍依次施加阻擋層和介質(zhì)層以使得阻擋層和介質(zhì)層構(gòu)成的復(fù)合層的表面與底電極層的表面保持平坦；以及在復(fù)合層和底電極層的表面上制作壓電層以使得壓電層不接觸襯底。提高壓電層的應(yīng)力一致性，減小壓電層的應(yīng)力影響，使器件的機(jī)電耦合系數(shù)控制在最佳范圍，提高諧振器品質(zhì)因素、器件良率和器件成品的一致性和可靠性，并且使有效諧振面積更大更接近空腔但不超出空腔，可以減小器件尺寸。通過設(shè)置種子層和鈍化層可以保護(hù)底電極層和頂電極層，并且將底電極層制作在諧振器的內(nèi)部，并保持機(jī)械穩(wěn)定性。