一種體聲波諧振器的空腔結(jié)構(gòu)及制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911294647.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111092604B 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN111092604B 申請公布日 2021-07-20
分類號 H03H9/02;H03H3/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李林萍;盛荊浩;江舟 申請（專利權(quán)）人 見聞錄（浙江）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門福貝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳遠(yuǎn)洋
地址 313000 浙江省湖州市康山街道紅豐路1366號3幢1219-23
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)岢隽艘环N體聲波諧振器的空腔結(jié)構(gòu)及制造方法，通過在襯底上形成空腔，并且在空腔的側(cè)邊底部蝕刻出向外延伸的釋放通道；在空腔中填充犧牲材料后進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光；在空腔上制作諧振器功能層以至少覆蓋空腔的表面；在空腔的外圍形成連通釋放通道的至少一個(gè)釋放孔；利用釋放孔和釋放通道清除空腔內(nèi)的犧牲材料。本發(fā)明的下電極層和空腔是全封閉接觸，可以提高體聲波濾波器的空腔上部諧振器功能層的機(jī)械穩(wěn)定性與可靠性，減小壓電層上釋放孔周圍的應(yīng)力對空腔上部諧振區(qū)域的影響，減小各諧振器單元的尺寸，進(jìn)而減少濾波器器件的尺寸。