基于聚合物薄膜石英音叉的氣體檢測(cè)系統(tǒng)及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110318284.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112881298B | 公開（公告）日 | 2022-06-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112881298B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-28 |
| 分類號(hào) | G01N21/17（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉秀玲;婁存廣;李喜通;陳弘家;楊旭 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 河北大學(xué) |
| 代理機(jī)構(gòu) | 石家莊國域?qū)＠虡?biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 071002河北省保定市五四東路180號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種基于聚合物薄膜石英音叉的氣體檢測(cè)系統(tǒng)及方法，所述檢測(cè)系統(tǒng)包括赫里奧特氣體池、分布式反饋激光器、涂覆有聚合物薄膜的石英音叉探測(cè)裝置以及信號(hào)采集處理系統(tǒng)。本發(fā)明基于光熱光譜技術(shù)，使用石英音叉作為傳感器，通過激光束照射在音叉臂表面產(chǎn)生的熱彈性形變引起石英音叉的機(jī)械振動(dòng)，根據(jù)石英音叉的壓電效應(yīng)將機(jī)械振動(dòng)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行采集并處理。本發(fā)明將高分子聚合物涂覆于石英音叉臂表面制成薄膜，以增大普通音叉表面的熱膨脹系數(shù)，增強(qiáng)氣體檢測(cè)的靈敏度、信噪比（SNR）及最小檢出限等參數(shù)。 |
