一種硅單晶圓型錐籽晶專用夾持內(nèi)套

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120315097.7 申請日 -
公開（公告）號 CN202214451U 公開（公告）日 2012-05-09
申請公布號 CN202214451U 申請公布日 2012-05-09
分類號 C30B15/32(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 曹中謙;李彥林;荊新杰;李永輝;劉云鵬 申請（專利權(quán)）人 河北宇晶電子科技有限公司
代理機構(gòu) 石家莊匯科專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 劉聞鐸
地址 065201 河北省廊坊市三河市燕郊經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)迎賓路晶龍集團工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅單晶圓型錐籽晶專用夾持內(nèi)套，用于大直徑直拉硅單晶生長過程中錐籽晶的固定。所述夾持內(nèi)套由兩個半管相互扣合而成，扣合處的兩個半管上分別設(shè)有相互配合定位的凹槽和凸塊，夾持內(nèi)套的外表面的一端為圓柱形面，其另一端為圓臺形面，并且圓柱形外表面的直徑與圓臺形外表面大端的直徑相等；夾持內(nèi)套的內(nèi)腔的兩端分別為大圓柱形面和小圓柱形面，內(nèi)腔中間為分別與大圓柱形面和小圓柱形面圓滑過渡的圓臺形面，并且內(nèi)腔的大圓柱形面與圓柱形外表面的位置相對應(yīng)。本實用新型便于拆卸和安裝，增加了工作時的受力面積，有效的增強了整個系統(tǒng)的安全性和穩(wěn)定性。