一種測(cè)量掃描電鏡電子束流的法拉第杯

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110689569.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113436953A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN113436953A 申請(qǐng)公布日 2021-09-24
分類號(hào) H01J37/244（2006.01）I;H01J37/26（2006.01）I;H01J37/28（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 史鑫堯;戴曉鵬;赫松齡;賀羽;張偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫量子感知技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州國(guó)誠(chéng)專利代理有限公司 代理人 杜丹盛
地址 214100江蘇省無(wú)錫市惠山區(qū)惠山城鐵站區(qū)站前路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種測(cè)量掃描電鏡電子束流的法拉第杯，其可以精確測(cè)量掃描電鏡入射電子束流強(qiáng)度，且其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便。其包括：杯蓋，其包括一厚度方向貫穿的入射孔；杯體，其包括有一厚度方向內(nèi)凹的內(nèi)凹盲孔；絕緣底托，其用于隔絕樣品臺(tái)和杯體；所述杯蓋蓋裝于所述杯體的上表面，所述入射孔朝向所述內(nèi)凹盲孔設(shè)置；其還包括有一絕緣導(dǎo)線，所述絕緣導(dǎo)線的內(nèi)層金屬芯一端連接所述杯體，所述絕緣導(dǎo)線的內(nèi)層金屬芯的另一端用于連接高精度測(cè)電流裝置；所述杯蓋和杯體均為導(dǎo)體材質(zhì)，所述絕緣底托為絕緣材料。