一種高收集效率的掃描電鏡電子探測(cè)器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110823237.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113421813A 公開（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113421813A 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) H01J37/244（2006.01）I;H01J37/26（2006.01）I;H01J37/28（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 史鑫堯;郭云飛;戴曉鵬;赫松齡;賀羽;張偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫量子感知技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州國(guó)誠(chéng)專利代理有限公司 代理人 杜丹盛
地址 214100江蘇省無錫市惠山區(qū)惠山城鐵站區(qū)站前路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種高收集效率的掃描電鏡電子探測(cè)器，其提高二次電子或者背散射電子的收集效率、能夠進(jìn)一步改善圖像的信噪比和分辨力。其包括：柵網(wǎng)；法拉第杯；閃爍體；光導(dǎo)柱；光電倍增管；高壓電源；電流放大電路板；不銹鋼外殼；法拉第杯的電子信號(hào)輸入端設(shè)置有外凸的篩網(wǎng)，法拉第杯的電子信號(hào)輸出端朝向閃爍體布置，閃爍體的光子信號(hào)輸出端朝向光導(dǎo)柱的輸入端布置，導(dǎo)管柱的輸出端連接至光電倍增管的信號(hào)輸入端，光電倍增管的信號(hào)輸出端連接電流放大電路板的信號(hào)輸入端，光電倍增管連接有高壓電源；不銹鋼外殼內(nèi)包覆有高壓電源、光電倍增管、光導(dǎo)柱、閃爍體，不休鋼外殼的前部輸入端固裝有法拉第杯。