一種基于白光干涉的背鉆孔深度測量裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910563589.9 申請日 -
公開（公告）號 CN110260816A 公開（公告）日 2019-09-20
申請公布號 CN110260816A 申請公布日 2019-09-20
分類號 G01B11/24（2006.01）I; G01B11/22（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 姜廣文; 朱志武; 曹結(jié)新 申請（專利權(quán)）人 湖南省鷹眼在線電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京魚爪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 廖斌
地址 410005 湖南省長沙市開福區(qū)新河街道晴嵐路68號北辰鳳凰天階苑B1E1區(qū)1棟32025號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于白光干涉的背鉆孔深度測量裝置和方法，包括寬譜段光源，光源整形鏡片組，分光器，第一成像鏡片組，光強(qiáng)衰減裝置，第二成像鏡片組，參考面，鏡片組，相機(jī)，位移臺。寬譜段光源發(fā)出的光經(jīng)過鏡片組整形后，經(jīng)過分光器分成兩束，一束經(jīng)由光強(qiáng)衰減裝置、第一成像鏡片組和參考面的反射，返回分光器，另一束通過第二成像鏡片組照射到樣品表面，經(jīng)由樣品表面反射，返回分光器；返回分光器的兩束光再經(jīng)過匯聚鏡片組由相機(jī)接收。本發(fā)明采用白光干涉原理實(shí)現(xiàn)背鉆孔深度測量。在傳統(tǒng)白光干涉基礎(chǔ)上，加入分光調(diào)節(jié)單元，增強(qiáng)PCB的背鉆孔反射的光信號，從而達(dá)到提高測量精度的效果。