平臺(tái)精度的補(bǔ)償方法、裝置、設(shè)備和介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011179963.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112486093A 公開（公告）日 2021-03-12
申請公布號 CN112486093A 申請公布日 2021-03-12
分類號 G05B19/404(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 陳國軍;周科;陳亮;吳景舟;馬迪 申請（專利權(quán)）人 鈞迪智能裝備科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 215156江蘇省蘇州市吳中區(qū)木瀆鎮(zhèn)金山南路868號銳晶大廈2號樓2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開了一種平臺(tái)精度的補(bǔ)償方法、裝置、設(shè)備和介質(zhì)。其中，該方法包括：確定目標(biāo)標(biāo)定板上的陣列點(diǎn)測量數(shù)據(jù)；根據(jù)陣列點(diǎn)測量數(shù)據(jù)，計(jì)算待補(bǔ)償平臺(tái)的正交性夾角；基于待補(bǔ)償平臺(tái)的正交性夾角，將陣列點(diǎn)測量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成正交坐標(biāo)系數(shù)據(jù)；根據(jù)正交坐標(biāo)系數(shù)據(jù)確定待補(bǔ)償平臺(tái)的二維線性度誤差補(bǔ)償；根據(jù)二維線性度誤差補(bǔ)償，對待補(bǔ)償平臺(tái)進(jìn)行補(bǔ)償。本發(fā)明實(shí)施例采用二維方向上的精度補(bǔ)償方式，根據(jù)二維線性度誤差補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)待補(bǔ)償平臺(tái)精度的精準(zhǔn)補(bǔ)償。??