一種紅外濾光片及其制備方法、紅外氣體傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110781672.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113238311A 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN113238311A 申請公布日 2021-08-10
分類號 G02B5/20;G01N21/3504;C23C14/24;C23C14/16;C23C14/06 分類 光學(xué);
發(fā)明人 何虎;張杰;許晴;于海洋;李蕾鳴;劉盼盼 申請（專利權(quán)）人 翼捷安全設(shè)備（昆山）有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 215325 江蘇省蘇州市昆山市周莊鎮(zhèn)敏銳路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種紅外濾光片及其制備方法、紅外氣體傳感器。其中，二氟甲烷氣體檢測用紅外濾光片包括基底以及位于基底兩側(cè)的主膜系結(jié)構(gòu)和截止膜系結(jié)構(gòu)，主膜系結(jié)構(gòu)包括Sub/HLH2LHLHLHL2HLHLHLH2LH2L/Air，截止膜系結(jié)構(gòu)包括Sub/0.18（HL）50.26（HL）70.4（HL）70.55（HL）70.75（HL）81.45（0.5LH0.5L）7/Air，其中Ge和ZnS分別作為高、低折射率材料，設(shè)計波長為9400nm。本發(fā)明實施例提供的一種紅外濾光片及其制備方法、紅外氣體傳感器，實現(xiàn)了中心波長為9400nm左右的通帶，滿足了NDIR紅外探測器檢測二氟甲烷氣體的使用要求。