一種紅外濾光片及其制備方法、紅外氣體傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110781672.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113238311B 公開(kāi)（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113238311B 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) G02B5/20（2006.01）I;G01N21/3504（2014.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 何虎;張杰;許晴;于海洋;李蕾鳴;劉盼盼 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 翼捷安全設(shè)備（昆山）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 孟金喆
地址 215325江蘇省蘇州市昆山市周莊鎮(zhèn)敏銳路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種紅外濾光片及其制備方法、紅外氣體傳感器。其中，二氟甲烷氣體檢測(cè)用紅外濾光片包括基底以及位于基底兩側(cè)的主膜系結(jié)構(gòu)和截止膜系結(jié)構(gòu)，主膜系結(jié)構(gòu)包括Sub/HLH2LHLHLHL2HLHLHLH2LH2L/Air，截止膜系結(jié)構(gòu)包括Sub/0.18（HL）0.26（HL）0.4（HL）0.55（HL）0.75（HL）1.45（0.5LH0.5L）/Air，其中Ge和ZnS分別作為高、低折射率材料，設(shè)計(jì)波長(zhǎng)為9400nm。本發(fā)明實(shí)施例提供的一種紅外濾光片及其制備方法、紅外氣體傳感器，實(shí)現(xiàn)了中心波長(zhǎng)為9400nm左右的通帶，滿足了NDIR紅外探測(cè)器檢測(cè)二氟甲烷氣體的使用要求。