測(cè)量電流加載時(shí)金屬薄膜中應(yīng)力演變的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200810017429.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101236189B 公開(kāi)（公告）日 2012-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN101236189B 申請(qǐng)公布日 2012-01-04
分類號(hào) G01N33/00(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 孫軍;王章潔;劉剛;孫冰;丁向東;江峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東云度材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 陳翠蘭
地址 710049 陜西省西安市咸寧路28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種測(cè)量電流加載時(shí)金屬薄膜中應(yīng)力演變的裝置及其方法，設(shè)計(jì)試樣放置裝置，依靠金屬薄膜與試樣放置裝置的線接觸，實(shí)現(xiàn)電流加載，將金屬薄膜試樣放置到金屬材料的放置臺(tái)的燕尾型的凹槽內(nèi)，依靠重力金屬薄膜試樣與金屬放置臺(tái)線接觸，保證金屬薄膜和金屬放置臺(tái)電導(dǎo)通，金屬薄膜在施加電流的過(guò)程由于焦耳熱和電致蠕變曲率發(fā)生變化，再由多數(shù)激光應(yīng)力測(cè)量裝置測(cè)量電流加載時(shí)金屬薄膜中應(yīng)力演變。對(duì)薄膜試樣不施加外力，實(shí)現(xiàn)原位測(cè)量電流加載時(shí)金屬薄膜中的應(yīng)力演變，以分析金屬薄膜在熱/力/電多耦合場(chǎng)的蠕變變形行為。本發(fā)明方法具有簡(jiǎn)單、精確等優(yōu)點(diǎn)。