柔性基板上金屬薄膜疲勞壽命測試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200810017372.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101226163A 公開（公告）日 2008-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN101226163A 申請(qǐng)公布日 2008-07-23
分類號(hào) G01N27/20(2006.01);G01N3/32(2006.01) 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫軍;張敬;劉剛;孫曉娟;汪承材;丁向東;江峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東云度材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 陳翠蘭
地址 276017 山東省臨沂市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)科技創(chuàng)業(yè)中心A317
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種柔性基板上金屬薄膜疲勞壽命測試方法，包括對(duì)界面結(jié)合良好的金屬薄膜/柔性基板體系進(jìn)行整體循環(huán)應(yīng)力加載下的疲勞測試，記錄金屬薄膜的應(yīng)力－應(yīng)變曲線和電阻變化－循環(huán)次數(shù)曲線，同時(shí)觀察疲勞過程中不同循環(huán)次數(shù)下金屬薄膜微觀組織，得到金屬薄膜表面損傷形貌－電阻變化－循環(huán)次數(shù)曲線。將電阻變化－循環(huán)次數(shù)曲線上電阻變化突然增大來表征金屬薄膜損傷，定義疲勞壽命Nf。由應(yīng)力－應(yīng)變曲線得到的應(yīng)變幅Δε及其所對(duì)應(yīng)的疲勞壽命Nf構(gòu)成了金屬薄膜/柔性基板系統(tǒng)中金屬薄膜疲勞性能失效評(píng)價(jià)。該方法測試簡單，測量精確且具有先驗(yàn)性。