柔性基板上金屬薄膜疲勞壽命測(cè)試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200810017372.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101226163B 公開(kāi)（公告）日 2010-11-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN101226163B 申請(qǐng)公布日 2010-11-10
分類(lèi)號(hào) G01N27/20(2006.01)I;G01N3/32(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 孫軍;張敬;劉剛;孫曉娟;汪承材;丁向東;江峰 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東云度材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 代理人 陳翠蘭
地址 276017 山東省臨沂市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)科技創(chuàng)業(yè)中心A317
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種柔性基板上金屬薄膜疲勞壽命測(cè)試方法，包括對(duì)界面結(jié)合良好的金屬薄膜/柔性基板體系進(jìn)行整體循環(huán)應(yīng)力加載下的疲勞測(cè)試，記錄金屬薄膜的應(yīng)力-應(yīng)變曲線和電阻變化-循環(huán)次數(shù)曲線，同時(shí)觀察疲勞過(guò)程中不同循環(huán)次數(shù)下金屬薄膜微觀組織，得到金屬薄膜表面損傷形貌-電阻變化-循環(huán)次數(shù)曲線。將電阻變化-循環(huán)次數(shù)曲線上電阻變化突然增大來(lái)表征金屬薄膜損傷，定義疲勞壽命Nf。由應(yīng)力-應(yīng)變曲線得到的應(yīng)變幅Δε及其所對(duì)應(yīng)的疲勞壽命Nf構(gòu)成了金屬薄膜/柔性基板系統(tǒng)中金屬薄膜疲勞性能失效評(píng)價(jià)。該方法測(cè)試簡(jiǎn)單，測(cè)量精確且具有先驗(yàn)性。