測量電流加載時金屬薄膜中應(yīng)力演變的裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200810017429.6 申請日 -
公開（公告）號 CN101236189A 公開（公告）日 2008-08-06
申請公布號 CN101236189A 申請公布日 2008-08-06
分類號 G01N33/00(2006.01);G01N25/26(2006.01);G01N3/28(2006.01) 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫軍;王章潔;劉剛;孫冰;丁向東;江峰 申請（專利權(quán)）人 山東云度材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 陳翠蘭
地址 710049陜西省西安市咸寧路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種測量電流加載時金屬薄膜中應(yīng)力演變的裝置及其方法，設(shè)計試樣放置裝置，依靠金屬薄膜與試樣放置裝置的線接觸，實(shí)現(xiàn)電流加載，將金屬薄膜試樣放置到金屬材料的放置臺的燕尾型的凹槽內(nèi)，依靠重力金屬薄膜試樣與金屬放置臺線接觸，保證金屬薄膜和金屬放置臺電導(dǎo)通，金屬薄膜在施加電流的過程由于焦耳熱和電致蠕變曲率發(fā)生變化，再由多數(shù)激光應(yīng)力測量裝置測量電流加載時金屬薄膜中應(yīng)力演變。對薄膜試樣不施加外力，實(shí)現(xiàn)原位測量電流加載時金屬薄膜中的應(yīng)力演變，以分析金屬薄膜在熱/力/電多耦合場的蠕變變形行為。本發(fā)明方法具有簡單、精確等優(yōu)點(diǎn)。