一種有效克服工件頭尾蝕刻效果差異的裝置
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111262389.3 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN113825314A | 公開(公告)日 | 2021-12-21 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN113825314A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-21 |
分類號(hào) | H05K3/00(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I | 分類 | 其他類目不包含的電技術(shù); |
發(fā)明人 | 尹德國 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 贛州市宇通瑞特智能設(shè)備有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 南昌恒橋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 許明亮 |
地址 | 341700江西省贛州市龍南市龍南經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)贛州電子信息產(chǎn)業(yè)科技園比邦產(chǎn)業(yè)園4#廠房 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種有效克服工件頭尾蝕刻效果差異的裝置,屬于蝕刻領(lǐng)域,一種有效克服工件頭尾蝕刻效果差異的裝置,包括蝕刻倉,所述蝕刻倉內(nèi)設(shè)有噴頭組,所述噴頭組具體由第二噴桿、第一噴桿組成,所述噴頭組下方設(shè)有多個(gè)主動(dòng)滾輪,所述蝕刻倉一端設(shè)有進(jìn)料口;本發(fā)明對(duì)比現(xiàn)有技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于:優(yōu)化了相鄰噴桿對(duì)于噴淋面之間的角度,使第一噴桿以傾斜角度噴淋工件,避免了水池的產(chǎn)生,減少了蝕刻誤差;增加了蝕刻檢測滾輪,在工件未進(jìn)入蝕刻倉時(shí),關(guān)閉進(jìn)水管,減少損耗;增加了側(cè)噴噴頭,在工件未進(jìn)入蝕刻倉時(shí),對(duì)多個(gè)主動(dòng)滾輪進(jìn)行清潔,避免蝕刻殘?jiān)鼘?duì)主動(dòng)滾輪進(jìn)行腐蝕,延長裝置使用壽命。 |
