一種氦、氫、氖氣體提純控制系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023215550.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214437799U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214437799U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | B01D53/22（2006.01）I | 分類(lèi) | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 徐軍軍;郭會(huì)軍;陳偉;楊俊鵬 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 安徽中科皖能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥國(guó)和專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 孫永剛 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市廬陽(yáng)區(qū)耀遠(yuǎn)路工投興廬科技產(chǎn)業(yè)園2號(hào)樓901室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種氦、氫、氖氣體提純控制系統(tǒng)，包括可編程邏輯控制器PLC、回收壓縮泵M1、再生真空泵M2、自控閥門(mén)、壓力變送器、氣體含量檢測(cè)儀以及質(zhì)量流量控制器；所述的可編程邏輯控制器PLC通過(guò)物理接線方式與回收壓縮泵M1、再生真空泵M2、自控閥門(mén)、壓力變送器、氣體含量檢測(cè)儀C1、質(zhì)量流量控制器進(jìn)行電氣連接，用于數(shù)據(jù)的采集運(yùn)算處理及邏輯動(dòng)作控制；回收壓縮泵M1的入口與氣體回收?qǐng)鏊B接，二者之間依次安裝質(zhì)量流量控制器MFC1、壓力變送器P1和氣體含量檢測(cè)儀C1。本實(shí)用新型可以將低純度的氦、氫、氖氣等尾氣提純到99.9％及以上，具有控制精準(zhǔn)、邏輯運(yùn)算可靠、提純效率高等特點(diǎn)。 |
