應(yīng)用于大尺寸氟化鎂單晶的定向生長(zhǎng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023208082.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215103675U 公開(kāi)（公告）日 2021-12-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN215103675U 申請(qǐng)公布日 2021-12-10
分類號(hào) C30B11/00;C30B29/12 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 陳偉;華偉;曹頓華;董永軍;潘國(guó)慶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京光寶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇圣典律師事務(wù)所 代理人 賀翔
地址 210008 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)恒達(dá)路3號(hào)高通基地第A01、A03室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于氟化鎂單晶體應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，具體公開(kāi)了應(yīng)用于大尺寸氟化鎂單晶的定向生長(zhǎng)裝置，包括爐體、石墨坩堝、側(cè)部石墨保溫罩、上部石墨保溫罩、底部保溫罩、發(fā)熱體支撐板、水冷電極桿、水冷坩堝桿、石墨發(fā)熱體、若干個(gè)通孔和若干個(gè)開(kāi)槽。本實(shí)用新型的有益效果在于：其設(shè)計(jì)合理、工作狀態(tài)穩(wěn)定和安全，通過(guò)一體成型制得石墨發(fā)熱體、若干個(gè)通孔、若干個(gè)開(kāi)槽、石墨圓形帶孔發(fā)熱板、若干個(gè)輔助通孔和若干個(gè)橫條形開(kāi)槽結(jié)構(gòu)，可針對(duì)不同的晶體生長(zhǎng)需求做不同形狀的設(shè)計(jì)，調(diào)節(jié)方式更加靈活，實(shí)現(xiàn)單個(gè)晶體爐生長(zhǎng)不同晶體對(duì)溫度梯度的不同需求，進(jìn)而提高大尺寸氟化鎂單晶體的產(chǎn)品品質(zhì)，適用于大尺寸氟化鎂單晶體的生產(chǎn)制備，實(shí)用性強(qiáng)。