一種晶振控制鍍膜機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023015603.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215103495U 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN215103495U 申請公布日 2021-12-10
分類號 C23C14/30（2006.01）I;C23C14/26（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 許鴻;董永軍;陳偉;曹頓華 申請（專利權(quán)）人 南京光寶光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊敏
地址 210046江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)恒達(dá)路3號高通基地第A01、A03室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種晶振控制鍍膜機(jī)，其包括：晶控儀、真空室、探頭晶控傳感器、至少兩組蒸發(fā)源、工件盤、修正板、計算機(jī)以及高壓電源；其中，工件盤設(shè)置在真空室的頂部中心位置處并包括第一驅(qū)動電機(jī)，探頭晶控傳感器設(shè)置在所述工件盤的同等高度位置處，修正板設(shè)置在所述工件盤的正下方，至少兩組蒸發(fā)源設(shè)于所述真空室底部，至少兩組蒸發(fā)源用于蒸鍍不同的蒸發(fā)材料；并且其中，工件盤與第一驅(qū)動電機(jī)電氣連接，晶控儀與探頭晶控傳感器、高壓電源和計算機(jī)分別信號連接，高壓電源用于為至少兩組蒸發(fā)源提供工作電壓，計算機(jī)與第一驅(qū)動電機(jī)信號連接。本實用新型的晶振控制鍍膜機(jī)實現(xiàn)了多層鍍膜的自動精確控制。