一種局域鈍化接觸結構電池及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110749345.7 申請日 -
公開(公告)號 CN113471304A 公開(公告)日 2021-10-01
申請公布號 CN113471304A 申請公布日 2021-10-01
分類號 H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/06(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 潘皓 申請(專利權)人 同翎新能源(揚州)有限公司
代理機構 北京知聯(lián)天下知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 代理人 張迎新;史光偉
地址 225603江蘇省揚州市高郵經(jīng)濟開發(fā)區(qū)洞庭湖路科技創(chuàng)業(yè)中心
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種局域鈍化接觸結構電池及其制備方法,其技術方案要點是,包括N型硅基體,所述N型硅基體的正面設置有正電極,所述N型硅基體正面覆蓋有AlOx鈍化層或SiNx減反層,所述正電極穿過AlOx鈍化層或SiNx減反層與發(fā)射極接觸,所述N型硅基體背面設置有負電極,在其所述N型硅基體的背面制備隧穿氧化層,其中,在N型硅基體與負電極接觸區(qū)域不被刻蝕形成重摻雜的n++poly層,在非電極接觸區(qū)域n++poly層被刻蝕減薄成輕摻雜的n+poly層。本發(fā)明通過在非金屬區(qū)域輕摻雜,減少n+poly層寄生吸收效應,提高短路電流;在金屬區(qū)域重摻雜,降低金屬接觸復合及接觸電阻,提升開路電壓及填充因子,進一步提高電池效率。