多晶硅鑄錠爐的氬氣預熱裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621283665.9 申請日 -
公開（公告）號 CN206438201U 公開（公告）日 2017-08-25
申請公布號 CN206438201U 申請公布日 2017-08-25
分類號 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 凌曉國;岳旭;余傳江 申請（專利權(quán)）人 浙江傲爾科技有限公司
代理機構(gòu) 嘉興啟帆專利代理事務所（普通合伙） 代理人 浙江錢江明士達光電科技有限公司
地址 314000 浙江省嘉興市海鹽經(jīng)濟開發(fā)區(qū)01省道新海段1000號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐，包括有爐體和氬氣管，爐體內(nèi)設(shè)置有保溫罩，保溫罩內(nèi)設(shè)置有坩堝、頂部加熱器和石墨蓋板，石墨蓋板位于坩堝上方，頂部加熱器設(shè)置在石墨蓋板上方，所述氬氣管與氬氣源相連，所述保溫罩和頂部加熱器之間設(shè)有水平安裝的蛇管式預熱器，蛇管式預熱器具有進氣口和出氣口，進氣口連通氬氣管，出氣口依次穿過頂部加熱器的中部、石墨蓋板的中部后伸入坩堝內(nèi)。本實用新型的多晶硅鑄錠爐能夠有效的減少氬氣對鑄錠爐內(nèi)熱場的影響，提高了長晶質(zhì)量，延長了熱場的使用壽命，節(jié)省了氬氣外部加熱的電耗成本，是現(xiàn)有多晶硅鑄錠爐的技術(shù)有效改進。