一種多晶硅鑄錠爐用坩堝組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621282843.6 申請日 -
公開（公告）號 CN206396354U 公開（公告）日 2017-08-11
申請公布號 CN206396354U 申請公布日 2017-08-11
分類號 C30B28/06;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 凌曉國;岳旭;余傳江 申請（專利權(quán)）人 浙江傲爾科技有限公司
代理機構(gòu) 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 浙江錢江明士達光電科技有限公司
地址 314000 浙江省嘉興市海鹽經(jīng)濟開發(fā)區(qū)01省道新海段1000號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐用坩堝組件，包括有位于坩堝四周與坩堝貼緊的側(cè)板以及位于坩堝底部用于支撐坩堝的底板，所述側(cè)板的內(nèi)表面上均設(shè)有導(dǎo)流槽，導(dǎo)流槽包括有位于側(cè)板下部的主槽，以及位于側(cè)板中部的若干均勻分布的支流槽，支流槽連通主槽，所述側(cè)板下端面設(shè)有若干均勻分布的凸柱，所述底板上設(shè)有與凸柱相匹配的通孔，所述每個側(cè)板上的其中一個凸柱為中空的導(dǎo)管，所述主槽連通導(dǎo)管。本實用新型通過對坩堝側(cè)板進行改進，提高了熱場穩(wěn)定性，增加多晶硅長晶成品率，同時，能夠有效及時的發(fā)現(xiàn)坩堝溢流情況，減少損失。