一種硅片拋光機用的拋光盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621286511.5 申請日 -
公開（公告）號 CN206393425U 公開（公告）日 2017-08-11
申請公布號 CN206393425U 申請公布日 2017-08-11
分類號 B24B29/02;B24B41/06;B24B55/02 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 凌曉國;岳旭;余傳江 申請（專利權）人 浙江傲爾科技有限公司
代理機構 嘉興啟帆專利代理事務所（普通合伙） 代理人 浙江錢江明士達光電科技有限公司
地址 314000 浙江省嘉興市海鹽經濟開發(fā)區(qū)01省道新海段1000號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片拋光機用的拋光盤，拋光盤正面用于固定硅片，其特征在于，所述拋光盤的背面設有導熱硅膠片，拋光盤的背面與導熱硅膠片之間設有導熱石墨片，導熱石墨片通過導熱硅膠貼附在拋光盤的背面，導熱硅膠片通過螺絲與拋光盤的背面固定連接。導熱硅膠片上設有若干均勻分布的凸起。本實用新型的硅片拋光機用的拋光盤具有拋光盤溫差小，避免了局部溫差過大對硅片造成的影響；同時，本實用新型采用導熱石墨片和導熱硅膠片直接散熱，避免了傳統(tǒng)水冷方式中的散熱不均勻、拋光盤清理維護困難等缺點。