一種能夠提高多晶硅鑄造質(zhì)量的鑄錠爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201621286945.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN206359657U | 公開（公告）日 | 2017-07-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN206359657U | 申請(qǐng)公布日 | 2017-07-28 |
| 分類號(hào) | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 凌曉國(guó);岳旭;余傳江 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江傲爾科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 浙江錢江明士達(dá)光電科技有限公司 |
| 地址 | 314000 浙江省嘉興市海鹽經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)01省道新海段1000號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種能夠提高多晶硅鑄造質(zhì)量的鑄錠爐，包括具有夾層空間的爐體，爐體上設(shè)置有抽氣孔，爐體內(nèi)設(shè)置有保溫罩，保溫罩內(nèi)部設(shè)有坩堝、對(duì)應(yīng)所述坩堝的石墨護(hù)罩，所述石墨護(hù)罩由石墨蓋板、石墨側(cè)板和石墨底板構(gòu)成，所述的石墨底板的底面開有凹槽，所述凹槽形狀為環(huán)狀正方形；所述石墨底板下方設(shè)置有熱交換平臺(tái)，所述石墨底板開有凹槽的一側(cè)與熱交換平臺(tái)相接觸，所述凹槽內(nèi)設(shè)置有隔熱條；所述石墨蓋板上方設(shè)置有頂部加熱器，所述頂部加熱器中部呈向下凸出狀，所述石墨側(cè)板周圍設(shè)有側(cè)部加熱器。本實(shí)用新型加熱時(shí)坩堝內(nèi)部水平方向溫度較為均勻，加熱效果好，多晶硅鑄造品質(zhì)高。 |
