一種能夠提高多晶硅鑄造質量的鑄錠爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621286945.5 申請日 -
公開（公告）號 CN206359657U 公開（公告）日 2017-07-28
申請公布號 CN206359657U 申請公布日 2017-07-28
分類號 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 凌曉國;岳旭;余傳江 申請（專利權）人 浙江傲爾科技有限公司
代理機構 嘉興啟帆專利代理事務所（普通合伙） 代理人 浙江錢江明士達光電科技有限公司
地址 314000 浙江省嘉興市海鹽經濟開發(fā)區(qū)01省道新海段1000號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種能夠提高多晶硅鑄造質量的鑄錠爐，包括具有夾層空間的爐體，爐體上設置有抽氣孔，爐體內設置有保溫罩，保溫罩內部設有坩堝、對應所述坩堝的石墨護罩，所述石墨護罩由石墨蓋板、石墨側板和石墨底板構成，所述的石墨底板的底面開有凹槽，所述凹槽形狀為環(huán)狀正方形；所述石墨底板下方設置有熱交換平臺，所述石墨底板開有凹槽的一側與熱交換平臺相接觸，所述凹槽內設置有隔熱條；所述石墨蓋板上方設置有頂部加熱器，所述頂部加熱器中部呈向下凸出狀，所述石墨側板周圍設有側部加熱器。本實用新型加熱時坩堝內部水平方向溫度較為均勻，加熱效果好，多晶硅鑄造品質高。