壓電微機械超聲換能器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110685781.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113245175A 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN113245175A 申請公布日 2021-08-13
分類號 B06B1/06（2006.01）I 分類 一般機械振動的發(fā)生或傳遞;
發(fā)明人 王凱厚;楊劍宏;王鑫琴;王蔚 申請（專利權(quán)）人 蘇州晶方半導體科技股份有限公司
代理機構(gòu) 蘇州威世朋知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 沈曉敏
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)汀蘭巷29號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種壓電微機械超聲換能器及其制作方法，所述壓電微機械超聲換能器包括：襯底；設置于襯底上支撐層，其形成有至少一個開口朝向襯底的空腔，空腔側(cè)壁、空腔頂壁與襯底圍設形成真空密閉腔；設置于支撐層上的壓電薄膜，其至少位于空腔上方，并直接受空腔頂壁支承，保留部分支撐層不蝕刻形成的空腔頂壁直接起到支承壓電薄膜的作用，省略常規(guī)PMUT結(jié)構(gòu)中的沉積形成的薄膜支撐層等結(jié)構(gòu)，能夠顯著降低PMUT的制造成本。