硅片無蠟拋光墊

基本信息

申請?zhí)?/td> CN87202507 申請日 -
公開（公告）號 CN87202507U 公開（公告）日 1988-03-23
申請公布號 CN87202507U 申請公布日 1988-03-23
分類號 H01L21/302 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王貴臻;蕭耀民;崔世偉;徐茂林;崔玉英 申請（專利權(quán)）人 天津市半導(dǎo)體技術(shù)研究所有限公司
代理機構(gòu) 天津市專利事務(wù)所 代理人 天津市半導(dǎo)體技術(shù)研究所
地址 天津市成都道116號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 硅片無蠟拋光墊，屬于電子材料的拋光裝置。這是一種圓形的、由七層樹脂材料組成的復(fù)合結(jié)構(gòu)、硅片用水粘貼在鑲嵌層圓孔內(nèi)的吸附膜上。采用本實用新型，可對硅片進行無蠟拋光，其表面總厚度變化小于6μm，省時、省力，本實用新型制造簡單、成本低。