一種MEMS深度力矢量及位置傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011327170.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112556894A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN112556894A 申請公布日 2021-03-26
分類號 G01L1/14;G01L1/20;G01B7/00;G06F3/0354 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李志偉;陳珂 申請（專利權(quán)）人 四川省機(jī)械技術(shù)服務(wù)中心有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 成都虹盛匯泉專利代理有限公司 代理人 周永宏
地址 610000 四川省成都市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)（龍泉驛區(qū)）星光中路12號3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS深度力矢量及位置傳感器，包括安裝板、彈性支撐、基板、微凸點(diǎn)陣、接觸凸點(diǎn)和陣列式接觸傳感器，基板的上部與接觸凸點(diǎn)相連，基板的下部通過彈性支撐與安裝板相連，微凸點(diǎn)陣位于基板的底部，陣列式接觸傳感器位于安裝板上且位于相鄰彈性支撐之間，外部作用力作用在接觸凸點(diǎn)上，接觸凸點(diǎn)產(chǎn)生變形，同時(shí)微凸點(diǎn)陣與陣列式接觸傳感器接觸從而測算出外部作用力的作用點(diǎn)、大小和方向。本發(fā)明所提供的一種MEMS深度力矢量及位置傳感器，采用深度傳感器作用原理，MEMS層通過接觸彈性微凸點(diǎn)位置可確定力矢量方向，電子層通過觸點(diǎn)相對位置，接觸斑得到力的大小?？梢酝瑫r(shí)測量力矢量、作用位置和大小。方法簡便可靠，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。