監(jiān)控系統(tǒng)、監(jiān)控方法、監(jiān)控終端及存儲(chǔ)介質(zhì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010703276.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111983412B 公開(kāi)（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN111983412B 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類號(hào) G01R31/26（2014.01）I;G01R1/067（2006.01）I;G08B13/196（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王英廣;游彩鋒;賴永達(dá);鄭漢欽;韋敏榮;龔榮;劉活;李安平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳米飛泰克科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳卓宏
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道清風(fēng)大道28號(hào)安博科技廠區(qū)1號(hào)廠房1、5、6層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N監(jiān)控系統(tǒng)、監(jiān)控方法、監(jiān)控終端及存儲(chǔ)介質(zhì)，涉及監(jiān)控技術(shù)領(lǐng)域，能夠較好地進(jìn)行晶圓測(cè)試數(shù)據(jù)的監(jiān)控，適用范圍廣。該監(jiān)控系統(tǒng)包括：測(cè)試終端、監(jiān)控終端和探針臺(tái)，其中，所述監(jiān)控終端分別與所述測(cè)試終端和所述探針臺(tái)連接；所述測(cè)試終端，用于輸出目標(biāo)測(cè)試數(shù)據(jù)及測(cè)試指令；所述目標(biāo)測(cè)試數(shù)據(jù)為所述測(cè)試終端控制所述探針臺(tái)的測(cè)試晶圓時(shí)得到的測(cè)試數(shù)據(jù)；所述測(cè)試指令用于指示所述探針臺(tái)對(duì)晶圓進(jìn)行電測(cè)試；所述監(jiān)控終端，用于當(dāng)所述目標(biāo)測(cè)試數(shù)據(jù)不滿足預(yù)設(shè)條件時(shí)，停止將所述測(cè)試終端的所述測(cè)試指令發(fā)送至所述探針臺(tái)。