監(jiān)控系統(tǒng)、監(jiān)控方法、監(jiān)控終端及存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010703276.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111983412B 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN111983412B 申請公布日 2021-12-31
分類號 G01R31/26（2014.01）I;G01R1/067（2006.01）I;G08B13/196（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王英廣;游彩鋒;賴永達(dá);鄭漢欽;韋敏榮;龔榮;劉活;李安平 申請（專利權(quán)）人 深圳米飛泰克科技股份有限公司
代理機構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳卓宏
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道清風(fēng)大道28號安博科技廠區(qū)1號廠房1、5、6層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N監(jiān)控系統(tǒng)、監(jiān)控方法、監(jiān)控終端及存儲介質(zhì)，涉及監(jiān)控技術(shù)領(lǐng)域，能夠較好地進行晶圓測試數(shù)據(jù)的監(jiān)控，適用范圍廣。該監(jiān)控系統(tǒng)包括：測試終端、監(jiān)控終端和探針臺，其中，所述監(jiān)控終端分別與所述測試終端和所述探針臺連接；所述測試終端，用于輸出目標(biāo)測試數(shù)據(jù)及測試指令；所述目標(biāo)測試數(shù)據(jù)為所述測試終端控制所述探針臺的測試晶圓時得到的測試數(shù)據(jù)；所述測試指令用于指示所述探針臺對晶圓進行電測試；所述監(jiān)控終端，用于當(dāng)所述目標(biāo)測試數(shù)據(jù)不滿足預(yù)設(shè)條件時，停止將所述測試終端的所述測試指令發(fā)送至所述探針臺。